本装置はメタルハライド、低圧ナトリウムランプで照射し基板のキズを目視で検査する装置です。

照射範囲：(1100mm*1300mm)打合せによる

メタハラ照明：6000ルックス以上（照射範囲中心部で距離1000mmの位置での測定）

ナトリウム照明：2000ルックス以上（照射範囲中心部で距離1000mmの位置での測定）